丸源鐵工所（丸源鉄工所）・TECHNOPRO MARUGEN : メンテナンスFAQ

不具合は、状況によりさまざまな要因が関連づけられています。
その代表例として書かせて頂きます。不具合の解消の足がかりとして参考にしていただければ幸いです。

自動調圧が正常に作動しない。

1. 研磨室入り口に装着された投入センサーが正常に働いているか確認してください。
2. 搬送ローラーの回転状態を検出するセンサーが正常に働いているか確認してください。

研磨時基板が滑ってしまう。

1. 押さえローラー両端の回転メタル(樹脂メタル)が摩耗していないか確認してください。
2. 搬送駆動チェーンが伸びたり緩んだりしていないか確認してください。
(ＭＤＳ‐＊＊＊Ｆ)
3. 搬送ローラ軸受ベアリングが破損していないか確認してください。
4. バックアップローラのベアリングが破損していないか確認してください。

研磨調圧のタイミングがずれている

1. 研磨層内入り口にある投入センサーが正常に働いているか確認してください。
2. 搬送ローラーの回転常態を検出してるセンサーが正常に働いているか確認してください。
3. 基板が滑っていないか確認してください。

ペーパー外れエラーが発生する。(ベルトサンダー）

1. ペーパー用のセンサーは、正常に働いているか確認してください。
2. オシレーションシリンダーは、正常に働いているか確認してください。
3. テンションローラーベアリングが破損していないか確認してください。
(テンションローラーにガタがないか確認してください。)

研磨時基板が斜めになってしまう。(バイブレーションサンダー・ベルトサンダー）

1. 押さえローラー両端の回転メタル(樹脂メタル)が摩耗していないか確認してください。
2. 押さえローラーが摩耗していないか確認してください。
3. 搬送ベルトの表面が滑りやすくなっていませんか？　　　
(定期的な交換が必要です。交換も含め検討してください。)

主軸部の音が大きくなってきている。

1. 主軸の潤滑オイルが正常に潤滑しているか確認してください。
(ＭＤＳ‐＊＊＊Ｆ)
2. 主軸ベアリング・オシレーションベアリングが劣化していると思われます。
(定期的な交換が必要です。交換も含め検討してください。)

潤滑オイルがベアリングケース下の受け皿に溜まる。(ＭＤＳ‐＊＊＊Ｆ)

1. バフ交換時に取り外す、ワンタッチジョイントのホースが外れていませんか？
2. ワンタッチジョイントが壊れていないか確認してください。
3. バフ交換時に取り外す、ワンタッチカプラ部よりオイル漏れがないか確認してください。
4. 主軸ベアリングケースのオイルシールの劣化によりオイル漏れがないか確認してください。
(定期的な交換が必要です。交換も含め検討してください。)

バフが偏摩耗する。(ＭＤＳ‐＊＊＊Ｆ・ＦＢＲ)

1. バックアップベアリングが破損していないか確認してください。
2. 搬送ベアリングが破損していないか確認してください。
3. 基板が滑っていないか確認してください。
4. バックアップ昇降・主軸昇降にガタが発生していないか確認してください。

過負荷エラーが発生する。(ＭＤＳ‐＊＊＊Ｆ・ＦＢＲ)

1. 研磨層内入り口にある投入センサーが正常に働いているか確認してください。
2. 搬送ローラーのギアーの歯を数えているセンサーが正常に働いているか確認してください。
3. 研磨のタイミングがずれていないか確認してください。
4. バックアップベアリングが破損していないか確認してください。
5. 搬送ベアリングが破損していないか確認してください。

ベルトサンダーにて黒化処理基板に研磨むらが発生する。

1. コンタクトローラーが摩耗していないか確認してください。
(定期的な交換が必要です。交換も含め検討してください。）
2. 搬送ベルトの表面が摩耗していないか確認してください。　　　
(定期的な交換が必要です。交換も含め検討してください。）
3. コンタクトローラー用ガイド樹脂プレートが摩耗していないか確認してください。

※コンタクトローラーの摩耗がないようでしたら応急処置として、＃80ペーパーにて
コンベアーベルトを研磨にて平行を取ることにより研磨むらが直る場合も有ります。